凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。
应用：真空冶金加工，薄膜覆层技术，制药冷冻干燥，冷冻和空调系统抽空、干燥和回填；真空泵维修作为真空泵设备提升泵浦性能的重要的一种修复工序，真空泵维修厂家，其中零件之间的修复配合装配尤为关键
真空泵结构特点，转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，真空泵维修，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，真空泵维修厂家在哪，从而可实现较高转速.
要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，真空泵维修哪家实惠，影响生产。
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
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