EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，真空泵维修，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
爱德华真空泵维修：真空容积
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵工作2000小时后应进行检修，真空泵维修价格，爱德华真空泵维修的方法。检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧，DV650真空泵维修， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
对于维修厂家在维修中不但要更需要在厂家库存一些经常会用到的爱德华真空泵维修配件，例如刮片、碳精片、滑片、旋片、石墨片、过滤芯、空滤、风隔等等，这样在维修的过程中便可以快速的对爱德华真空泵产品进行修复。
凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。
DV650真空泵维修-真空泵维修-东欧真空设备有限公司由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是广东 东莞 ,真空泵的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在东欧真空领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创东欧真空更加美好的未来。
