爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用，可以安装一个可选的油回收套件，以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
真空泵要处在通风位置或是房间内配有减温设备还可以，缘故也是一样的，只是为了给真空泵的导热性能更强，尽可能减少真空泵的操作温度。耗材立即更换。在其中重要的也是：油雾分离器（排气管过滤芯）跟油。这几种耗材一定要及时的更换。排气管过滤装置如果一旦发生损毁或者其它产品质量问题时第yi时长更换！油出现颜色变色、沉淀增加、出现了乳状液的现象时不能只是局限在给油日常保养，真空泵维修工厂，全部都要更换真空泵油
舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，真空泵维修哪家实惠，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，真空泵维修，从而节省了前级管道和 安装成本，真空泵维修厂家，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
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