真空泵维修 真空泵维修 东莞东欧真空设备公司

真空泵维修作为真空泵设备提升泵浦性能的重要的一种修复工序，其中零件之间的修复配合装配尤为关键，经测量，根据零部件的损坏、磨损程度的不同，可对机械真空泵的腔体、转子、旋片、端盖板等零部件进行铲刮研磨和修配，相互修正调整。

nXDS 干式涡旋泵

Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、极高的真空性能和进的设计特性，性能居同类产品。

nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。

nXDS 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今进技术的小型干泵的。

工作环境更好，环境影响低：

安静运转

操作简单：

智能且易于使用控制

无污染且不需要处理油：

采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境

低拥有 成本：

长维修间隔和低功耗

更快的制程：

出色的蒸汽处理能力

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，真空泵维修报价，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，真空泵维修，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，真空泵维修多少钱，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件，真空泵维修保养， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

功能和优势

可靠耐用的韧性铁构造

具有重复泵送能力。

能够控制泵温

优异的灰尘和蒸汽处理能力

具有一劳永逸的性能。

使用现有过滤器可以很好地处理灰尘。

降低了噪音和振动。

排放的烟雾中不含油。

无需进行油回收。排放区域环境清洁。

延长了正常运行时间。

节省维护成本。

可连续在大气压下泵送，对泵无有害影响。

高度可靠的干燥机械装置，已经过 60，000 多套产品实际验证。