我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，普旭真空泵维修，该方法非常有效。
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iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一，普旭真空泵维修哪家便宜，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20，000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术，普旭真空泵维修哪家实惠， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
安静运转：
工作环境更好
：
在一系列 实验室和工业应用中得到验证
独立式 装置和紧凑式设计：
使用灵活性
气镇 阀：
高的蒸汽处理 能力
E2M0.7 与 E2M1.5
E2M0.7 和 E2M1.5 泵是双级直接传动滑片泵 该泵采用油封技术，能够长期可靠地运行。该泵为独立式装置。传动由完全封闭的风扇冷却单相电机通过 Oldham 联轴器提供。该泵非常适合科学应用（例如前级涡轮分子泵）以及一般实验室应用。
应用
分析仪器
氦检漏仪
研发
前级涡轮分子泵
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
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