EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，爱德华真空泵维修价格，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，爱德华真空泵维修报价，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
爱德华真空泵维修始终致力于提供创新的真空泵和尾气处理系统的解决方案，应用于各种行业，从实验室到需求多的半导体和工业行业，以及新兴的太阳能和生物柴油行业。爱德华努力降低您的运行成本，提高您的生产效率和产成品质量。爱德华提供的制造品质和的技术支持服务，并通过我们的服务网络，将产品推广到全世界。
爱德真空泵的极限真空为他们的高，快速抽气速度，安静的运作，有很强能理水蒸汽能力而。这直接驱动旋转叶片泵本身结构紧凑，无振动。
nXDS 干式涡旋泵
Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、极高的真空性能和先进的设计特性，性能居同类产品。
nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，爱德华真空泵维修，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。
nXDS 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今先进技术的小型干泵的。
齿轮是干式真空泵常见一种功率带动零件，它的耐用性与可靠性虽然与齿轮的材料，加工质量以及润滑情况关系很大，但其装配方法不当也会影响齿轮的传动的效率，装配不当会导致齿面加速磨损以及缩短其使用的寿命，因此在真空泵维修中的齿轮装配工序尤为重要。
Stokes Microvac 系列油封真空滑阀泵
在 佳性能和可靠性方面，爱德华真空泵维修公司，Stokes Microvac 滑阀泵树立了 行业的滑阀泵标准，并能大限度减少维护与 时间。
Stokes Microvac 经过了 时间的考验，堪称、可靠的滑阀泵。如今经过进一步优化、升级和微调， 新的“J”系列将具有优性能、极低的维护需求和 运行成本。
低转速帮助实现 长的泵使用寿命
简单耐用的机制 带来高可靠性且易于装配
泵机享有 充分的质量保障和售后支持，免除
经过 80 年时间考验的 性能
多种增压机选项， 支持灵活的泵组合
新推出的“J”系列结合了 工程设计数十年的发展成果，噪音更低、密封更好且性能稳定 具有极低的维护需求和运行成本。
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