本着十多年的真空泵维修经验,从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,普旭真空泵维修,只一味的注重价格。其实到后修不好,反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,普旭真空泵维修哪家实惠,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
为增加真空泵的使用期和没有问题上班时间,需对爱得华旋片真空泵开展日常查验维护保养,维护保养次数可以根据检修工作经验开展适时调整。1,查验泵油油位泵启动前,先要从油标查验油位是不是由此可见并且在“MIN”刻线之上,仅有做到这里,真空泵才可以正常运行。此外,启动新泵或真空泵有十分一段时间并没有运行中,还应当在泵启动后查验油位是不是轻微降低(3~5mm),这一降低说明泵有带油启动。如果发现油位没有在工作中刻线范围之内时,需及时加油至工作中刻线范围之内。2,观查泵油颜色应经常在油标内观查泵油颜色,普旭真空泵维修厂,油理应清澈透亮,呈焦黄色,倘若发觉泵油掉色或者出现混浊,普旭真空泵维修厂家,理应定期更换泵油,不然会危害真空泵的使用期和真空包装实际效果,使用爱得华泵油。泄油时提议让泵运作15min,使泵油变暖,以利于泵油排出。
普旭真空泵维修厂-普旭真空泵维修-东莞东欧真空设备公司由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是广东 东莞 ,真空泵的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在东欧真空领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创东欧真空更加美好的未来。