在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。
隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，爱发科真空泵维修公司，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级，因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，爱发科真空泵维修，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
泵系列
Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。
RV3
RV3 PFPE
RV5
RV5 PFPE
RV8
RV8 PFPE
RV12
RV12 PFPE
真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，爱发科真空泵维修哪家好，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，爱发科真空泵维修哪家强，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
爱发科真空泵维修公司-爱发科真空泵维修-东莞东欧真空设备公司由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司位于广东省寮步镇翠香中路6号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前东欧真空在真空泵中享有良好的声誉。东欧真空取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。东欧真空全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。
