真空泵维修不仅是单纯的零件更换,还涉及真空泵转子,叶片,轴位等
精度高,难度大的修复工序,对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内,这
些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转,WHV7000真空泵维修,所以选择好
的真空泵维修厂家至关重要。
为了给客户提供真空技术应用解决方案和
售后服务,为保证产品质量以及稳定性、耐用性,WH2500真空泵维修,特设真空泵维修车间。
高蒸汽处理能力:
更快的制程
出色的微粒处理能力:
高可靠性
快动式可靠入口阀可实现防反吸保护:
安全制程和系统
模式选择器和双位气镇:
经过专门配置以满足您的真空需求
针对便于维护而设计:
无计划外停机
运转安静:
工作环境更好
应用
湿泵应用
分析仪器 - LCMS
蒸馏
萃取
过滤
冷冻干燥
凝胶体干燥
溶剂回收
离心蒸发
多尘应用
熔炉
脱气
清洁干燥应用
分析仪器 - GCMS
离心机
镀膜
前级涡轮泵
气瓶充气/排空
泄漏探测器
负载锁
电子显微镜
特殊应用
如果您的应用不属于其中一个类别,我们可以提供经过专门设计以满足您的需求的泵。一些过往示例包括:
备有 PFPE 的泵
与制动液兼容的版本
符合 ATEX 标准的泵
适用于石油和钻机的空气驱动电机选配型
其中的许多选配型已经成为标准产品目录项,因此,如果您的应用与众不同,请咨询您当地的销售人员,我们会倍感荣幸地提供帮助
主要特性和优势
湿泵
适合“湿式”应用的 Edwards RV 泵的主要优点:
任何旋转式叶片泵的蒸汽泵送能力
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
任何旋转式叶片泵的气镇流量提供 220g/hr(在 RV12 上为 290g/hr)的水蒸汽处理能力
配备可选的油回收套件,WHV4000真空泵维修,可确保在高流量下,油保持在泵内
对于溶剂/蒸汽与氟橡胶 (FKM) 密封不兼容的应用,提供腈 (Buna-N) 转换套件。另外,泵送大量氧化剂时,可以订购备有 PFPE 的泵。
多尘
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,真空泵维修,能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计,适用于多尘应用。
清洁/干燥
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